政策导向的调整
在全球经济不稳定的背景下，中国政府决定对光刻机行业进行调控，以确保国内关键技术和产业链的安全。政府认为，依赖进口的光刻机可能会影响国家安全和技术自主权，因此决定暂停部分进口项目，以促进国产替代。
国内生产能力考量
目前国内主要的半导体制造商，如中芯国际等，其生产规模虽然不断扩大，但仍然面临着与国际先进水平相比存在较大差距的问题。为了缩小这一差距，并提高国产产品在国际市场上的竞争力，政府需要给予更多支持，这包括政策扶持、资金投入以及鼓励企业合作等多方面措施。
环境保护标准提升
随着环保意识的增强，以及环境保护法规日益严格，中国开始对传统能源消耗高的大型设备进行审视。在这种情况下，对于能耗高且污染大的外国光刻机来说，其进入市场受到限制。此外，由于国产新一代低功耗、高效率的光刻设备即将上市，为满足未来发展需求，同时也为减少对环境影响而采取行动。
技术创新驱动
中国在微电子领域取得了显著成就，但在核心技术方面仍有待加强。这次叫停是为了推动国产化，不仅仅是简单地购买或租赁外国设备，而是在此基础上，加快研发和应用新技术，如深紫外（DUV）到极紫外（EUV）甚至更先进技术如双层极紫外（DEUV）的转型升级。
国际贸易关系复杂化
近年来，由于全球贸易摩擦加剧，尤其是美中科技战导致供应链受到冲击。为了应对这些挑战，并减少因出口管制带来的风险，中国选择暂时停止某些类型的光刻机引入，使得国内企业能够更加自给自足，同时也降低了由于供应链断裂所造成的一系列问题。
